电子级硫酸主要用于半导体硅晶片的清洗与蚀刻,半导体硅晶片为什么需要经常清洗,硫酸又在清洗中扮演着什么样的角色呢?广州电子级硫酸提纯设备厂家为您简单介绍。
在半导体生产过程中,硅晶片常常会被不同的杂质污染,这些杂质会导致硅晶片产率下降,为了获得高质量、高产率的集成电路芯片,必须始终保持硅晶片清洁,尤其是在高温工序之前(如扩散、外延生长和化学气相沉淀)。因此,半导体生产几乎每两道工序之间都要进行清洗。在90~125℃的温度范围内,硫酸是一种非常有效的清洗剂,它几乎可以除去硅晶片上所有的无机残留物与金属颗粒;在硫酸中加入氧化剂(过氧化氢、过硫酸按、硝酸、臭氧等)可除去硅晶片上的有机物。
可见,电子级硫酸确实可以对半导体硅晶片起到非常好的清洗效果。我公司是一家广州电子级硫酸提纯设备厂家,专门销售电子级广州硫酸提纯设备及其他各种类型的提纯设备,欢迎您来电咨询。